中微半導體設備(上海)股份有限公司的主營業(yè)務是半導體設備及泛半導體設備的研發(fā)、生產和銷售。公司的主要產品有電容性等離子體刻蝕設備,電感性等離子體刻蝕設備,MOCVD設備,VOC設備。 2019年在美國領先的半導體產業(yè)咨詢公司VLSI Research對全球半導體設備公司的“客戶滿意度”調查和評比中,公司綜合評分繼2018年的結果之后繼續(xù)保持全球第三,在芯片制造設備專業(yè)型供應商和專用芯片制造設備供應商評比中均名列第二,并在薄膜沉積設備評比中繼續(xù)名列第一。同時,全球晶圓制造設備商評級為五星級公司僅有五家,中微公司是其中之一。
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